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반도체 산업의 유해인자 - 윤충식 외 지음
반도체 분야에서 10년 이상 연구와 조사에 참여해 온 국내 산업위생 전문가들의 반도체 공부 모임에서 시작되어, 이를 발전시켜 반도체 산업 노동자, 경영자, 관리자, 그리고 연구자와 학생이 두루 참고할 수 있는 교과서를 만드는 데 의견을 모아 함께 집필한 것이다.

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들어가기
1장 새 기술, 새 공정, 새 화학물질 사용의 위험성_15
1. 반도체 산업의 안전보건이 문제가 되는 이유_16 / 2. 반도체 산업의 유해요인과 직업병에 대한 지식_21
2장 반도체의 이해_27
1. 반도체의 기초_28 / 2. 반도체의 분류_31 / 3. 모스트랜지스터_35 / 4. 전자소자와 반도체_37 / 5. 집적회로의 발전_38 / 6. 반도체의 역사_42
3장 반도체 제조 공정의 전반적 이해_45
1. 반도체 제조 공정 개요_46 / 2. 실리콘 웨이퍼 제조_48 / 3. 웨이퍼 가공_50 / 4. 칩 조립 및 검사_52 / 5. 기타 공정_53
4장 클린룸과 유해인자_55
1. 반도체 사업장 클린룸의 이해_56 / 2. 클린룸의 공기 청정도 관리_58 / 3. 반도체 사업장의 클린룸 유지_61 / 4. 반도체 산업의 전실과 방진복 _ 63 / 5. 클린룸에 대한 산업보건학적 시각_64
5장 웨이퍼 제조 공정과 유해인자_67
1. 반도체 제조 공정 개요_68 / 2. 웨이퍼 제조 공정_69 / 3. 잉곳 제조 공정의 유해인자_81
6장 클리닝(세정) 공정과 유해인자_85
1. 클리닝 개요_86/ 2. 클리닝 공정_90 / 3. 클리닝 공정의 유해인자_98
7장 확산 공정과 유해인자_101
1. 확산 공정 개요_102 / 2. 확산 공정의 유해인자_106
8장 포토리소그래피 공정과 유해인자_111
1. 포토리소그래피 공정의 개요_112 / 2. 포토리소그래피 세부 공정_113 / 3. 포토레지스트_137 / 4. 포토리소그래피 공정의 유해인자_142
9장 식각 공정과 유해인자_159
1. 식각 공정의 개요_160 / 2. 식각 공정_162 / 3. 식각 공정의 유해인자_180
10장 증착 공정과 유해인자_183
1. 증착 공정의 개요_184 / 2. 증착 공정의 유해인자_192
11장 이온 주입과 유해인자_195
1. 웨이퍼 회로 접합 형성_196 / 2. 이온 주입법_198
12장 물리 화학적 연마와 유해인자_207
1. 물리 화학적 연마의 개요_208 / 2. 슬러리_210 / 3. 물리 화학적 연마 공정의 유해인자_214
13장 칩 조립 및 검사 공정과 유해인자_217
1. 칩 조립 공정의 개요_218 / 2. 패키지 종류_221 / 3. 칩 조립 공정의 유해인자_223
14장 반도체 공정에서의 화학물질 사용과 유해성_263
1. 반도체 산업과 화학물질 사용_264 / 2. 우리나라 반도체 산업과 화학물질 사용현황_267 / 3. 반도체 산업에서의 영업비밀 물질 사용_269 / 4. 세계적으로 반도체 업체에서 규제되는 화학물질들_273 / 5. 반도체 공정별 사용하는 화학물질_276 / 6. 반도체 공장의 노출평가와 분해 산물_280
15장 반도체 공정과 전자파_283
1. 전자파의 기본 특성_284 / 2. 반도체 제조 공정 및 설비 특성_285 / 3. 전자파의 건강 영향_288 / 4. 전자파의 노출기준_290 / 5. 반도체 제조 사업장 작업자들의 극저주파 자기장 노출수준 _ 295 / 6. 반도체 제조 사업장 작업자들의 극저주파 자기장 노출 관리 방안_301
16장 반도체 공정 주요 질병 위험고찰_305
1. 주요 질병 위험_306 / 2. 생식독성 위험_306 / 3. 암 발생 및 사망 위험_310

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