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KDC : 569.4
도서 반도체 소자 공정기술
  • ㆍ저자사항 Michael Quirk;
  • ㆍ발행사항 파주: 淸文閣, 2006
  • ㆍ형태사항 806 p.: 삽화; 28 cm
  • ㆍISBN 8970888985
  • ㆍ주제어/키워드 반도체소자 공정기술
  • ㆍ소장기관 연무도서관

소장정보

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등록번호 낱권정보 자료실 / 청구기호 / ISBN 자료상태 반납예정일 예약 상호대차서비스
GD0000008117 [연무]보존서고
569.4-쿼536ㅂ최
예약불가 - 예약불가 상호대차신청

상세정보

<반도체 공학 전공서. 이 책은 반도체 산업의 전망과 반도체 물질의 특성, 소자기술, 실리콘과 웨이퍼 제조, 반도체 제조공정에서의 화학물질, 공정실의 가스제어, IC 제조공정의 개관 등으로 구성되었다.

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